（一）空态、静态测试

空态测试：干净室已竣工，净化空气调节系统已处于正常运行状态，室内没有工艺设备和出产人员的情况下进行测试
。

静态测试：干净室净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已装置，室内没有出产人员的情况下进行测试
。

（二）动态测试

干净室已处于正常出产状态下进行测试
。

干净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测，可按通常通用、空气调节的有关划定执行
。

二、空态、静态测试

1. 应对干净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁
。

2. 选取光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试
。首先测定高效空气过滤器的优势侧静压箱内（或风管内）粒径大于或蹬宗0.5μm的尘粒数应为大于或蹬宗30,000粒/升
。如若不够，可引入烟雾，而后起头检漏
。将粒子计数器（或检漏装置）的采样口距离高效空气过滤器2-3厘米处，能够2-4厘米/秒的速度移动，对高效空气过滤器整个断面封头胶处和装置框架处进行扫描
。

当粒子计数器读数为空气口大于或蹬宗0.5μm的尘粒超过3粒/分·升（或其穿透率大于0.01‰）即以为该处有显著渗漏，必须进行堵漏
。

1. 总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等；

2. 干净室压力值；

3. 层流干净室断面风速和气流流向；

4. 干净工作区的干净度；

5. 室内温度、湿度及其节造能力的调整测试；

6. 干净室内噪声
。

对于粒径大于或蹬宗0.5μm的尘粒计数，宜选取光散射粒子计数法，也可选取滤膜显微镜计数法
。

光散射粒子计数法：

1. 光散射粒子计数器采样量100级：每次采样量大于或蹬宗1升
。1,000级-10,000级：每次采样量大于或蹬宗0.3升
。100,000级：每次采样量大于或蹬宗0.1升
。对于100级干净室，宜选取大流量粒子计数器进行测试；若是前提不具备时，可选取每次采样量不幼于1升的粒子计数器
。

2. 采样当苦衷项：

①采样管必须干净，衔接处严禁渗漏
。

②采样管的长度，应凭据仪器的允许长度
。当无规按时，不宜大于1.5米
。

③采样管口的流速，宜与干净室断面均匀风速相靠近
。测试人员应在采样口的下风侧
。

④采样挨次应按含尘浓度从低到高进行
。

3. 测点安插：

①检测在干净工作区内进行
。当出产工艺无特殊要求时，取样高度宜为离地面1米
。

②层流干净室测点总数不幼于20点，测点间距为0.5-2.0米，粒径大于或蹬宗0.5μm的尘粒数允许有一个点超过
。水平层流干净室测点仅安插在第一干净工作区内
。

③乱流干净室可按干净面积幼于或蹬宗50平方米安插5个测点（附图2）
。每增长20-50平方米，增长3-5个测点
。

4. 数据整顿：

①每个测点的数据整顿当在测试仪器不变运行的前提下陆续三次采样，取其均匀值，即为该点的实测数值
。

②对于大于或蹬宗0.5μm的尘粒数确定：层流干净室取各测定点最大值，乱流干净室取各测点的均匀值
。

（四）正压值测定应选取精度可达0.01毫米水柱的微压计
。

三、动态测试

在干净工作区操作地位选择有代表性测点的气流优势向进行，测试步骤同空态、静态测试
。